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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

簡(jiǎn)要描述：含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：GC-9560-PDD
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2023-06-14
  • 訪  問  量： 3448

詳細(xì)介紹

含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。


氟的技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目指標(biāo)
氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2                  ≥99
氧（O2）+氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2≤0.45
四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2≤0.05
氟化氫（HF）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2≤0.5


氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目指標(biāo)
氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2  　20
氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2　80
氧（O2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2≤0.08
四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2≤0.03




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